無線モーションレコーダーを用いた装置振動解析

産業分野への応用事例

弊社の「8チャンネル小型無線モーションレコーダー、 MVP-RF8シリーズ」は、ワイヤレスでの計測が可能ということで、 様々な用途にご使用いただいております。ワイヤレスですので面倒な配線作業が必要なく、 また移動する装置や搬送機、大型のロボットなど 動作の大きい機器の計測も楽々可能で、 これまで見ることができなかったデータを余すことなく 計測できるとのことで、産業分野の方にも 数多くご使用いただいております。

応用事例

1.【生産現場内】 加速度ピーク値で製品搬送の条件出し

半導体ウェハや液晶用のガラスパネルなどは、 近年大口径化・大型化が進み、それに伴って 搬送時の振動によるウェハ・パネルへのダメージ の問題が大きくなってきております。弊社無線モーションレコーダーは、ワイヤレス計測が 可能なので、搬送中の振動も楽々計測できます。 搬送装置のメーカー様には、客先での 装置の設置時の条件出し用として使用し、 振動と工程速度の最適化を行うツールとして活用 頂いております。生産・生産技術担当には、搬送装置 や台車等の振動を定期的にチェックし、ある値を 超えたところで装置等のメンテナンスを行う、 判定のためにご使用いただいております。右の図では、振動のピーク値によって搬送条件 の善し悪しの判定を行っております。

上の図では、ピークが約40m/sec^2となって おりますが、下の図では約20m/sec^2となっており、 搬送条件によって振動レベルが半分になった ということが確認できたデータ例です。

2.【技術・設計部門】FFT解析でポンプ・モーター振動解析

ポンプやモーターは、回転数が確認できて いると、FFT解析によって振動発生の原因を ある程度特定できます。

例えば、右下のFFT解析結果の場合、約320Hz付近に振動のピークがあることが わかります。

ここで、モーターの回転数が約5,000rpm(約83Hz) であったとすると、 ピークの波形は回転数の約4倍になっています。 ここで、モーターの回転数を例えば約10,000rpm (約166Hz)に変更したときに、ピーク周波数が 約640Hzに変われば、振動の原因は回転機構 にあると考えられます。 具体的には、シャフトやベアリングなどの部分が 振動発生源と考えられます。もし、モーターの回転数を変えても、320Hz付近に ピークが存在すれば、これは機構部分の固有振動 によるものと考えられます。具体的には部材の厚み・寸法や材質を変えることに より、振動の周波数やレベルを変えることができます。モーターやポンプの設計部門や、工場内の施設管理 担当の方などにご使用を頂いております。

3.【品質管理部門】振動変位計測でロボットの出荷検査

加速度データから振動変位に換算できるソフトウェア 「変位解析ソフトウェア MVP-VD2-S」を使用すれば、 動作中の振動変位がもれなく算出可能です。

例えば、右の図は、産業用ロボットの動作時の振動変位解析結果 の一例です。このロボットの場合、振動変位値の閾値を2mmとし、 個の値を超えたらNGと判定します。

このデータの場合、3つの軸方向のうちのZ軸方向の振動変位が 規定の2mmを超えてしまっております。このことはグラフを読み取っても 確認できますが、閾値を設定しておけば、この閾値を少しでも超えた場合 NG判定としてボタンが赤色に変わり、振動変位が規定以内に収まって いるか一目で確認できます。装置の出荷検査の部門などにご使用頂いて おります。