半導体ウエハ・ガラスパネル搬送時の振動状況計測

1.計測条件

使用計測器
無線モーションレコーダー MVP-RF3-HC
測定対象物
液晶向けガラスパネル
サイズ
約1.5m×1.9m×t1.8mm
測定場所
ガラス基板中央付近にレコーダーを固定
固定方法
ガムテープ
搬送方向
Z軸方向 (パネル上下方向)

2.加速度波形(振動波形)計測データ

ウェハの動きだしから静止するまでの加速度データの計測を行いました。
無線モーションレコーダーは、3軸の加速度センサーを内蔵しているため、3方向の加速度の値が同時に計測できます。

<最大加速度>

<考察>

  1. この搬送機では、動き出しの際と停止時の加速度(振動)が大きい。
  2. 搬送中は加速度が小さい。
  3. 動き出しの方が加わる加速度(振動)が大きい。
  4. 加速度(振動)が加わる方向はZ軸方向(パネル厚み方向)が最も大きい。
  5. 最大加速度(振動)は約9.8m/sec^2 (約1.0G)

3.FFT解析

<FFT解析条件>

上記「加速度波形データ」のうち、「動き出し」時のデータ(0~1sec)のデータを切りだして解析しました。

<FFT解析結果>

<考察>

  1. Z軸方向(パネル厚み方向)には50Hz付近にスペクトルのピークが存在します。
    →パネルの固有振動周波数か?
  2. 装置の動作において、50Hz付近に周波数成分が存在すると、共振の影響で パネルが破損する可能性が高くなり、歩留が低下するものと推測されます。

応用事例にて使用した製品の紹介