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<無線振動計測事例> FAシステム振動計測

弊社の無線のモーションレコーダシリーズは、人体動作計測分野、装置振動計測分野を中心に様々な分野でご使用いただいております。

その中から、主な事例について紹介をしていきます。

今回は、FAシステム振動計測分野での応用事例をご紹介いたします。

液晶パネルや半導体ウェハなどは次第に大型化、薄型化が図られ、搬送時に振動・衝撃等が加わった際にパネル・ウェハが破損することによる歩留低下が問題となっております。従って、装置の振動レベルを計測し、問題ないレベルがどの程度なのかを把握し、動作時にそのレベル以下を維持できるよう管理することが重要となります。

下記のグラフは、液晶パネルの搬送装置における振動計測の例となります。

振動計測には、弊社下記製品を用いております。

高速3チャンネル小型無線振動記録計 MVP-RF3-HC

MVP-RF8-HC_ウェハ搬送
  高速3チャンネル小型無線振動記録計 MVP-RF3-HC

なおこの装置では、Z軸方向(ウェハ厚み方向)が装置動作方向となります。

グラフ

上記の計測結果から、下記のようなことが読み取れます。

1.この搬送機の場合、パネルの動き出しの際の加速度が最も大きく、
  その大きさは約10m/sec^2(約1G)となっている。
2.振動の方向はZ軸方向(ウェハ厚み方向)が最も大きい。
  →最もウェハが割れやすい方向の加速度が最も大きくなっている。
3.装置の加速時・減速時以外の加速度レベルは1m/sec^2(0.1G)以下と
  小さいですが、装置動作開始から約1秒後、Z軸方向の加速度が大きい
  部分が確認できます。
  →このあたりを装置が通過する際に、ダストの影響等で振動が大きく
   なっているのかもしれない?
   →点検を行ってみるなどの対応を検討。

弊社の製品は、無線でしかもリアルタイムで振動計測ができるので、現場で実機の状況を確認しながら、装置の動作状況を確認でき、対応もすぐに行えます。

大型の搬送装置やロボットをご使用の皆様、是非ご検討ください。

(岡田 恵也)

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今回のブログを執筆しました私のことを少し紹介させていただきます。

名前:岡田 恵也
    苗字はともかく名前は読めませんよね?
    これで「シゲヤ」と読みます。
    まだ一度も同じ漢字で同名の方にお目にかかったことがありません。
    お近くに「恵也」さんがいたら是非ご一報ください。

生年月日:1972年4月2日
    あと1日早く生まれていたら、1学年上でした。
    得したのか損したのか・・・

マイクロストーン入社:17年目です。
    会社も創業17年目です。ということは・・・

所属:営業部/品質管理部
    営業部ではとびぬけて「オヤジ」です。
    部内で次に若いメンバーが1回り以上下です・・・
    話題についていけません・・・

趣味:出張のあいまに、神社(特に各地の一之宮)をめぐることです。
    出張のあいまに行っていることは、会社にはトップシークレットです。

ShigeyaOkada
  (どちらの神社かおわかりになりますか?)

家の神棚に、御札がいっぱいになってどうしようか・・・と思う今日この頃です。

それでは、また次の機会にもよろしければご一読ください。

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