「半導体製造装置　振動細かく把握」
センサー開発のマイクロストーンは、半導体製造装置向けの新型振動計測センサーを開発した。シリコンウェハーのような薄型円形で3軸の動きを記録、ウェハー運搬時の振動をより細かく把握でき、半導体の不良品率低下に役立つという。1台50万円以下で4月にも発売する。