応用事例
紹介

ガラスパネル搬送時の振動状況計測

1.計測条件

使用計測器 : 無線モーションレコーダ MVP-RFA3-02A
測定対象物 : 液晶向けガラスパネル
          サイズ 約1.5m×1.9m×t1.8mm
測定場所  : ガラス基板中央付近にレコーダを固定
固定方法  : ガムテープ
搬送方向  : Z軸方向 (パネル上下方向)

2.加速度波形(振動波形)計測データ

ウェハの動きだしから静止するまでの加速度データの計測を行いました。
 無線モーションレコーダは、3軸の加速度センサを内蔵しているため、3方向の加速度の値が同時に計測できます。

<最大加速度>

<考察>
1) この搬送機では、動き出しの際と停止時の加速度(振動)が大きい。
2) 搬送中は加速度が小さい。
3) 動き出しの方が加わる加速度(振動)が大きい。
4) 加速度(振動)が加わる方向はZ軸方向(パネル厚み方向)が最も大きい。
5) 最大加速度(振動)は約9.8m/sec^2 (約1.0G)

3.FFT解析

<FFT解析条件>
上記「加速度波形データ」のうち、「動き出し」時のデータ(0~1sec)のデータを切りだして解析しました。
<FFT解析結果>

<考察>
1) Z軸方向(パネル厚み方向)には50Hz付近にスペクトルのピークが存在します。
   →パネルの固有振動周波数か?
2) 装置の動作において、50Hz付近に周波数成分が存在すると、共振の影響で パネルが破損する可能性が高くなり、歩留が低下するものと推測されます。